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带你正确认识石墨坩埚,了解石墨坩埚断裂原因

编辑:北京友谊丹诺科技有限公司时间:2021-10-14

带你正确认识石墨坩埚,了解石墨坩埚断裂原因

在原材料、制造等方面采取可能的方法,以满足在恶劣条件下的使用。

以下列出了主要特点:

(1)高导热性:由于石墨等高导热性原料的使用,熔化时间缩短;

(2)耐热震性:耐高温,冲击性强,用于急冷、快速、不易破裂;

(3)耐热性:耐高温,耐高温1200~1600℃;

(4)耐渗透性:耐溶汤剂腐蚀性;

(5)机械冲击:具有一定的机械冲击能力(如熔体注入时间等)。

(6)抗氧化:石墨在氧化气雾中容易氧化。由于抗氧化处理,氧化消耗较少;

(7)抗粘连:由于石墨不易与熔液粘结,熔汤渗透性和附着力较小;

(8)金属污染少:金属污染少,因为不与被污染的熔液混合;

(9)抗集渣剂(除渣剂)效果:抗渣浆剂(除渣剂)对性能有影响。

石墨坩埚断裂的原因大致分为:

1、工艺缺陷。

      由于这些原因,坩埚通常从接缝处开裂,然后向外扩展。一般沿垂直方向开裂。这样的问题发生后很容易发现,因为太明显了。造成这些问题的主要原因是接缝过渡角度(通常为105°或115°)在交点部分,不采用倒圆角缓冲,加工过程中刀尖部分对坩埚的微观撕裂,使用过程中坩埚本身的应力分布不均匀。

2、设计缺陷。

     由于这个原因,坩埚断裂后,通常出现在R部和上部坩埚的结合处,通常两个断口中间低,中间高。如果完全裂开后拼在一起,坩埚断口不能重叠。实际原因是坩埚使用后壁厚均匀,下部应力集中逐渐增厚,导致应力集中和石墨坩埚断裂。

3、使用不当。

      该方法主要用于冷却和冷却。用户在拉晶时也会有缩短加热时间、冷却时间和拆炉时间的想法,提高生产效率是可以理解的。但是,必须考虑石墨能否承受这种降温速度。当温度升高时,石墨材料的强度会增加,即当温度下降时,强度会降低。需要考虑外壁与内壁之间引起的应力是否超出坩埚能承受的范围。

4、原材料不足。

      事实上,这是重要的原因。由于石墨坩埚本身的物理性质,主要是热传导。由于热膨胀等两个原因,坩埚在速冷速热时容易产生应力,不易消除;此外,在石墨生产过程中,碳化压型石墨浸渍、烘烤、石墨化和纯化过程时间长,难以监测和检验。虽然整体性能相对均匀,但同一石墨的内部部分之间仍存在一定的差异,这决定了石墨材料生一些根本问题。

5、运输、装卸和装载不当。

     搬运主要是在运输过程中,这与各热点厂家的包装和物流公司有关。但目前大部分选择自己发货,原因逐渐减少。晶片的组装,尤其是初学者辅助工拆炉时偶尔出现的现象。